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SMC高真空閥,SMC電磁閥,日本SMC

簡要描述:SMC高真空閥,SMC電磁閥,日本SMC
在半導體制造過程中,腐蝕裝置、噴鍍裝置,離子注入裝置和CVD裝置等許多部分,都要把芯片和液晶基板放在真空室內處理,該真空
室供氣、排氣(真空)用閥,要求它們無泄漏、耐腐蝕且是潔凈規格。

  • 產品型號:VQ5150-5G1
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2025-02-07
  • 訪  問  量:3089

詳細介紹

SMC高真空閥,SMC電磁閥,日本SMC
兩種常見連接形式:

活套法蘭連接
這是閥門中用得多的連接形式。按結合面形狀又可分為以下幾種:
1)光滑式:用于壓力不高的閥門。加工比較方便。
2)凹凸式:工作壓力較高,可使用中硬墊圈。
3)榫槽式:可用塑性變形較大的墊圈,在腐蝕性介質中使用較廣泛,密封效果較好。
4)梯形槽式:用橢圓形金屬環作墊圈,使用于工作壓力≥64公斤/平方厘米的閥門,或高溫閥門。
5)透鏡式:墊圈是透鏡形狀,用金屬制作。用于工作壓力≥100公斤/平方厘米的高壓閥門,或高溫閥門。
6)O形圈式:這是一種較新的法蘭連接形式,它是隨著各種橡膠O形圈的出現,而發展起來的,它在密封效果上比一般平墊圈可靠。

產品樣本:


螺紋連接
這是一種簡便的連接方法,常用于小閥門。又分兩種情況:
1)直接密封:內外螺紋直接起密封作用。為了確保連接處不漏,往往用鉛油、線麻和聚四氟乙烯生料帶填充;其中聚四氟乙烯生料帶,使用日見廣泛;這種材料耐腐蝕很好,密封效果,使用和保存方便,拆卸時,可以完整地將其取下,因為它是一層無粘性的薄膜,比鉛油、線麻得多。
2)間接密封:螺紋旋緊的力量,傳遞給兩平面間的墊圈,讓墊圈起密封作用。
小型&大容量
 設置容積減少42%、設置面積減少26%
 VQ4000可驅動缸徑為Φ160的氣缸
 VQ5000可驅動缸徑為Φ180的氣缸
●省電 消耗電力:0.4W(低功率型)
●壽命長:1億次(根據本公司條件)

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